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非制冷红外探测器MEMS流片关键工序工艺研发及产业化项目第一次公示

来源: 作者: 发布日期:2026-11-02 00:00:00

根据《环境影响评价公众参与办法》、《建设项目环境影响评价信息公开机制方案》相关规定,为让公众充分了解本项目,接受项目周边公众的监督,现就[非制冷红外探测器MEMS流片关键工序工艺研发及产业化项目]环境影响评价工作有关信息予以第一次公示,征求公众意见和建议。

一、项目概况

建设项目名称:非制冷红外探测器MEMS流片关键工序工艺研发及产业化项目

项目地址:陕西省西咸新区沣东新城天章大道智能制造创新园2号厂房西户一层

建设内容:购置PVD/氧化钒沉淀设备、钝化膜沉淀设备PECVD、晶圆清洗设备等,建设非制冷红外探测器MEMS流片关键工序生产线,建成后年产非制冷红外12英寸MEMS晶圆5700片。

项目性质:新建(迁建)

工程及其环境保护情况:本项目仅在预留的西南侧区域扩建生产区并新增生产设施,目由主体工程、辅助工程、公用工程以及环保工程组成,主要建设有机废气处理措施、酸性废气处理措施、碱性废气处理措施;危险废物妥善贮存于危废贮存库,定期交有资质单位处置;选取低噪音设备,采取隔声减振、厂房隔声措施,项目产生的污染物在采取本次环评提出的各项环保措施的前提下,项目污染物均能做到达标排放,对外环境影响较小。

二、建设单位名称和联系方式

(1) 建设单位:西安英孚瑞科技有限公司

(2) 联系人:贾福强

(3) 联系电话:15991715917

(4) 通讯地址:陕西省西咸新区沣东新城天章大道智能制造创新园2号厂房

三、编制单位名称和联系方式

(1) 评价单位:

(2) 联系人:

(3) 联系电话:

(4) 通讯地址:

(5) 电子邮箱:

四、公众意见表的网络链接

https://www.mee.gov.cn/xxgk2018/xxgk/xxgk01/201810/W020181024369122449069.docx

五、公众提出意见的方式和途径

公众可通过来函、来电、传真、发送电子邮件等方式,在规定时间内将填写的公众意见表等提交我单位,反映与建设项目环境影响有关的意见和建议。公众提交意见时,应当提供有效的联系方式,鼓励公众采用实名方式提交意见并提供常住地址。